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2019-03-26
MEMS流量傳感器是一種用于檢測液體、氣體等介質(zhì)的流量參數(shù)并將其轉(zhuǎn)換為其他形式的信號進行輸出的一種檢測用儀器儀表。而歐姆龍獲得專利的緊湊型MEMS流量傳感器（MEMS Flow Sensors）可檢測堵塞的過濾器數(shù)據(jù)。
歐姆龍家庭MEMS（微機電系統(tǒng)）的流量傳感器包括能夠測量流速和質(zhì)量流率的運動具有高重復精度的智能緊湊模型。這些傳感器可用于測量1 LPM至50 LPM（升/分鐘）的質(zhì)量流量。MEMS流量芯片實現(xiàn)了高靈敏度。
D6F-P，D6F-V和D6F-W傳感器采用了粉塵分離系統(tǒng)（DSS），可用于監(jiān)控風扇性能，檢測計算機和投影儀中堵塞的過濾器，以及商用HVAC系統(tǒng)中的VAV控制。
特性：
由于MEMS技術，尺寸小
流量傳感器，可與大多數(shù)醫(yī)療，惰性焊接和燃燒氣體一起使用
卓越的可重復性和準確性
應用：
非常適用于堵塞的過濾器檢測和風扇性能監(jiān)控
獲取過濾器，管道或管道系統(tǒng)后面的空氣速度讀數(shù)
專有的MEMS技術
粉塵分離系統(tǒng)使顆粒遠離傳感器芯片
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